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芯片清洗機(子母環)

主要用途:二流體清洗固定于子母環上藍膜表面的芯片,并進行甩干及吹干。
主要功能:1.自動滴藥液(5%MaOH),藥液流量可調
2.靜置,時間可設
3.二流體清洗,流量壓力可調
4.甩干及吹干(速度可調)
5.MES通訊

用途:對LED芯片表面進行刷洗、清潔。
特點:全自動控制,提高生產效率。
設備尺寸:1400(L)x1200(W)x1820(H)mm
1.刷洗時間:根據制程需求設置(參數不同,時間有變化)                                                                                                                 
2.適用晶圓:4 寸
3.適用晶圓片尺寸:
直徑 100 (mm)   厚度 650(um)
4.刷洗方式:從晶圓中心,逐步向外刷洗
5.產品固定方式:真空吸附
6.裝卸方式:產品整盒手動放置與取出
7.上料區可放置料盒數量:2只
8.下料區可放置料盒數量:2只
9.每只料盒容量:25片晶圓


上一個: 沒有了
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